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Main Machine 256대를 동시 공급함
금속이온 및 기타 오염 물질을 제거한후 Clean Tank에서
설비별 공급 Drum Filter 4대 가동(50㎛↓, Ø1600×1400)
액 충전부, 초저온저장탱크, 기화기 및 GAS Unit으로 구성되어 있으며 기화기를 통하여 기체화 되어 Clean Room으로 순수 N2 GAS만 공급된다